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集成电路失效分析新技术

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  • 日期: 2013-09-22
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标签: 失效分析集成电路

通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向, 包括: 无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术, 为进一步开展这方面的工作提供参考。

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